Produktbeschreibung
Computergesteuertes Mass Flow Controller (Max. 1000 SCCM) mit Precision Software Steuerung EQ-MFC
Einleitung
MFC-A ist ein digitaler Mengenflußcontroller für CVD/PECVD/Graphene Ofen, zum der Strömungsgeschwindigkeit des Gases für unterschiedliches zu steuern
Forschungszwecke.
Digital Mass Flow Controller für Gas Kontrollsysteme
Kosteneffektive, High Genauigkeit und schnelle Antwort, das Multi-Gas, Selbst-null, Compatible schließt an
Verwendet für GasStrömungsgeschwindigkeit des Hochdrucks genau steuern und messen.
Ideal für CVD und andere Gasgemischanwendungen
Beschlag des internationalen Standards DB15 Stift; schließt an an Öfen mit Beschlag Swagelok1/4
Software- und Kommunikationskabel ist zur bequemen Steuerung über Computer enthalten
Bedingung
| Kompletter Umfang (N2) | (0~100.200.500.1000) SCCM |
| Genauigkeit | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
| Wiederholbarkeit | ±0.2% RUMPFSTATION |
| Linearitäten | ±0.5% RUMPFSTATION |
| Antwortzeit | ≤1sec |
| Ventil-Ruhestellung | Normalerweise Closed oder Normally Open |
| Temperatur-Koeffizient | Null: ≤±0.05% F.S./ºC Überspannung: ≤±0.1% F.S.ºC(SLM ≤30) Überspannung: ≤±0.2% F.S.ºC(>SLM 30) |
| Nullantrieb | <0.6%F.S. pro Jahr ohne autozero |
| Oberflächenende (Ra) | 25Ra |
| Operations-Temperatur | (5~45)ºC |
| Kommunikation Interface für Input Signal | Digital: RS485 Einheit NetzTM Entsprechung: (0~5) VDC oder (4~20) MA |
| Kommunikation Interface für Output Signal | Digital: RS485 Einheit NetzTM Entsprechung: (0~5) VDC oder (4~20) MA |
| Stromversorgung | ±11 ~ ±16 VDC oder +11 ~ +28 VDC (400mA) |
| Elektronischer Stecker | Stifte Mann, Mann des d-Unterseeboots 9 des d-Unterseeboots 15 Stift, DeviceNetTM Mann |
| Differenzdruck | (0.05~0.35) Mpa(≤10000SCCM) (0.1~0.35) Mpa(20000SCCM, 30000SCCM) (0.2~0.45) Mpa(50000SCCM) |
| Maximaler Druck | 3MPa |
| Leckvollständigkeit | 1×10- 9 ATM·cm/sek er(1×10- 10 PA·m3 /sek er) |
| Dichtungs-Materialien | Viton; Neopren |
| OberflächenChemistry (nur EP) | -- |
| Beschläge | Swagelok1/4 " |
| Gewicht | 1kg |
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd nimmt hauptsächlich an der Forschung und Entwicklung, Auslegung, Herstellung teil und die Verkäufe des Geräts verwendet in wissenschaftlichem erforscht. Unabhängigkeit und Innovation ist der Grundsatz der Firma. Unsere Hauptprodukte schließen ein: Gefäßofen, Muffelofen, Plasmareinigungsmittel, Vakuumofen, Atmosphärenofen, CVD-System und angepasst
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